小型恒温恒湿试验箱
型号：
BTH-22.5C
贝尔小型恒温恒湿试验箱，支持-40℃～+150℃及20%-98%RH精准控制，符合SEMI S2/S6及JEDEC标准。适用于晶圆制造、封装材料可靠性测试、IC芯片老化试验等场景，提供恒温恒湿、防静电设计及数据追溯功能，保障半导体器件可靠性验证与工艺稳定性。支持定制化方案，满足严苛环境测试需求。
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产品特点
高精度控制
温度范围：-70℃～+150℃，湿度范围：20%～98%RH，支持快速升降温（升温速率≥3℃/min，降温速率≥1℃/min），满足半导体行业对温湿度波动敏感的需求
智能化与便捷性
触摸屏控制系统，支持编程温湿度曲线，实时记录数据并导出（支持USB/RS232接口）；内置同温层设计，防止冷凝水滴落损坏测试样品。
安全与合规性
采用耐腐蚀不锈钢内胆及防静电设计，避免半导体材料污染；符合SEMI S21（人员防护）、SEMI S22（电气安全）等标准，配备过温保护、漏电保护等多重安全机制
产品参数
| 型号 | BTH-22.5C | |||||
| 内箱尺寸 | W300*H400*D250mm（突起物除外） | |||||
| 外箱尺寸 | W823*H805*D460mm | |||||
| 温度范围 | -40℃~150℃ | |||||
| 温度波动度 | ≤±0.5℃ | |||||
| 温度偏差 | ≤±2℃ | |||||
| 温度均匀度 | ≤2℃ | |||||
| 湿度范围 | 20%RH~98%RH | |||||
| 湿度波动度 | ≤±3%RH | |||||
| 升温速率 | ≥3℃/min | |||||
| 调温调湿方式 | 平衡调温调湿方式 | |||||
| 冷冻机容量 | 400W | |||||
| ·设备的尺寸、温度、湿度、升降温速率等参数均可定制，详情请咨询在线客服或来电咨询 | ||||||
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